SevenStar D07 Series Bedienungsanleitung
D07 – 7K 型质量流量控制器
D07-7KM 型质量流量计
使 用 手 册
版本 2015.12
目录
1. 使用须知…………………………….. 16.2.1 开机预热 …………………..…… 15
2. 用途和特点………………………… 1 6.2.2 检查和调整零点 ………………… 15
3. 主要技术指标……………………… 3 6.2.3 通气工作 ………………………… 15
4. 结构和工作原理…………………… 4 6.2.4 关机 ……………………………… 15
4.1 结构………………………………… 4 7. 注意事项 …………………………… 15
4.2 工作原理…………………………… 5 7.1 禁用流量介质 ……………………… 15
5. 安装和接线 ……………………… 77.2 使用腐蚀性气体问题 ……………… 15
5.1 外形及安装尺寸…………………… 7 7.3 阀口密封问题 ……………………… 16
5.2 气路接头形式……………………… 8 7.4 阀控操作注意 ……………………… 16
5.3 连接电缆插头……………………… 9 7.5 安装位置问题 ……………………… 16
5.4 与计算机或外部信号的连接……… 11 7.6 注意工作压差 ……………………… 16
5.5 调零和外调零……………………… 12 7.7 标定和不同气体的换算 …………… 17
6. 使用方法和操作步骤 ……………… 13 7.8 D07-7K,7KM 标准订单填写格式…… 18
6.1 质量流量控制器的操作…………… 13 8. 故障判断和处理 …………………… 21
6.1.1 开机操作………………………… 13 9. 保证、保修与服务…………………… 23
6.1.2 清洗功能………………………… 14 9.1 产品保证和保修..…………………… 23
6.1.3 显示仪与计算机连接的操作…… 14 9.2 保修对使用的要求..………………… 23
6.1.4 直接与计算机连接的操作……… 14 9.3 服务..………………………………… 23
6.1.5 阀控功能………………………… 15 10. 附录 ………………………………… 24
6.1.6 关机操作………………………… 15 10.1 气体质量流量转换系数 …………… 24
6.2 质量流量计的操作 ………………. 15 10.2 转换系数使用说明 ………………… 26
MASS FLOW CONTROLLER & MASS FLOW METER
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质量流量控制器和质量流量计
使 用 手 册
1. 使用须知
尊敬的用户，感谢您购买本公司生产的 D07 系列质量流量控制器/质量流量计产品。
本手册详细叙述了正确、安全使用该系列产品的必要事项。
产品使用者，请务必认真参阅本手册并理解后使用，在使用过程中，请注意带有
标志的文字及注意事项中包含的所有内容。
对于未按照使用手册使用造成的财产损失或人身伤害，本公司有权不承担责任。
本手册对您安装、维护及故障维修时，必不可少，请妥善留存保管。
2. 用途和特点
质量流量计(Mass Flow Meter 缩写为 MFM) 用于对气体的质量流量进行精密测量；质
量流量控制器 (Mass Flow Controller 缩写为 MFC) 用于对气体的质量流量进行精密测量
和控制。它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环
保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型的应用场合包括: 电子工艺
设备, 如扩散、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入; 以及镀膜设备、光纤
熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其它分析仪器。
D07 系列质量流量控制器和质量流量计具有精度高、重复性好、响应速度快、软启
动、稳定可靠、工作压力范围宽等特点(可以在高压或真空条件下工作), 其操作使用方便,
可任意位置安装, 并便于与计算机连接实现自动控制。
D07 系列质量流量控制器和质量流量计一般与 D08 系列流量显示仪等产品配套使用,
控制器与显示仪之间用专用电缆连接(如图 1所示)。
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图1.质量流量控制器与流量显示仪配套使用
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3. 主要技术指标
表1. D07-7K 型MFC 性能指标
编号 项目D07-7K 型
1 流量规格 (20,30,50,100,200,300,500) SCCM
(0~1,2,3,5,10) SLM
2 准确度 ±1 % F.S
3 线性 ±1%F.S
4 重复精度 ±0.2 %F.S
5 响应时间 电特性: ≤4sec; 气特性: ≤4sec
6 工作压差范围 (0.1 ~ 0.5) MPa
8 温度系数 Zero: ≤±0.1% F.S./;Span: ≤±0.2% F.S./;
9 耐压 3 MPa
10 工作环境温度 5 ℃~ 45 ℃
11 输入输出信号 0 V ~ +5.00 V
(输入阻抗大于 100K, 输出电流不大于 3mA)
12 电源 +15 V 50 mA; -15V 200 mA
13 外形尺寸 见图 4
14 重量 1.1 kg
注意 :
质量流量计和质量流量控制器出厂通常用氮气（N2）标定。
质量流量的单位规定为: SCCM (标准毫升/分);
SLM (标准升/分)
标准状态规定为: 温度 --- 273.15K ( 0℃ );
气压 — 101325 Pa (760mm Hg)
在七星电子 MFC/MFM 产品中心，单位 SCCM 和“mL/min, 0℃,1atm”等同，单位 SLM 和
“L/min, 0℃,1atm”等同。
F.S (Full Scale): 满量程值
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表2. D07-7KM 型MFM 性能指标
编号 项目D07-7KM 型
1 流量规格 (20,30,50,100,200,300,500) SCCM
(0~1,2,3,5,10) SLM
2 准确度 ±1% F.S
3 线性 ±1%F.S
4 重复精度 ±0.2 %F.S
5 响应时间 ≤4sec
6 气压降 <0.01 MPa
7 温度系数 Zero: ≤±0.1% F.S./;Span: ≤±0.2% F.S./;
8 耐压 3 MPa
9 工作环境温度 5 ℃~ 45 ℃
10 输出信号 0 V ~ +5.00 V
(输入阻抗大于 100K, 输出电流不大于 3mA)
11 电源 +15 V 50 mA
-15 V 50 mA
12 外形尺寸 见图 5
13 重量 0.92 kg
各型号产品的主要技术指标见表 1和表 2。其中 7KM 型是 7K 型的流量测量部分，流
量计量部分的技术指标相同。
4. 结构和工作原理
4.1 结构
质量流量计由流量传感器, 分流器通道和流量放大电路等部件组成；在质量流量计的
基础上，再加上调节阀门和 PID 控制电路就构成了质量流量控制器。7K 型质量流量控制
器, 打开外罩后的结构如图 2所示。
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图2. 7K 型质量流量控制器结构图
7KM 型流量计与 7K 型控制器相比，在结构上的不同点，就是少了电磁调节阀，其它
部分基本相同。
4.2 工作原理
流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量(无需温度压力补偿)。
将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大, 放大后的流量检测电压与设定电压进
行比较, 再将差值信号放大后去控制调节阀门，闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量
相等。分流器决定主通道的流量。与之配套的 D08 系列流量显示仪上设置有稳压电源, 3 位
半数字电压表, 设定电位器, 外设、内设转换和三位阀控开关等。本控制器与流量显示仪连
接后的工作原理如图 3所示。
电路板 D型插座
传感器
调零电位器
支架
进气接头 出气接头
电磁调节阀
锁紧螺母
流量通道
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图3. 质量流量控制器原理
控制器输出的流量检测电压与流过通道的质量流量成正比, 满量程(F.S)流量检测输出
电压为+5V。质量流量控制器的流量控制范围是(2~100)%F.S, 流量分辨率是 0.1%F.S。
注意 :
当质量流量控制器的“阀控”线置于“清洗”位时，也可以当质量流量计使用。在做
流量计使用时，流量检测电压的输出值最大可能达+10V 以上，不过要注意，当流量超过满
量程值（+5V）后，流量检测电压与通过的实际流量不成线性对应关系。清洗时，流量显示
不准确，还可能出现流量增大显示反而减小的异常现象，但并不会对流量计本身造成损伤。
流量显示仪
质量流量计
分流器通道
传感器
入口
I
调节阀
驱动 阀控
-15V
+15V
0V
~220V 电源
流量显示
100.0
(0 ~ +5.00V)
set
out
放大器 比较器
COM
设定
+5.00V
内
(0 ~ +5.00V)
外
+15V
出口
-15V
清洗
关闭
0 电 平
流量检测
设 定
质量流量
控制器
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控制操作一般在流量显示仪上进行。当设定开关打到“内”设时, 由设定电位器控制
流量; 当打到“外”设时, 由用户提供的(0～+5)V 电压控制流量。
在显示面板上还设置有三位阀门控制开关, 当置“关闭”位时, 阀门关闭; 当置“清洗”
位时,阀门开到最大,以便气路清洗，或作为流量计使用；当置于“阀控”时，自动控制流量。
5. 安装和接线
5.1 外形及安装尺寸:
7K、7KM 各型号产品的外形和安装尺寸如图 4、图 5所示。
图4. D07-7K 型MFC 外形图
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图5. D07-7KM 型MFM 外形图
注意 :
图中的高度 108mm 是不加电缆插头的高度,加上插头后的高度要再增加 50mm 左右。
5.2 气路接头形式
采用标准双卡套接头和 VCR 接头, 可提供 8种尺寸接管外径的接头类型:
a. Compression Fittingφ3 mm ; b. Compression Fittingφ6 mm ; c. Compression
Fittingφ8 mm; d. Compression Fitting 1/8" (英制); e. Compression Fitting 1/4" (英制);
f. VCR 1/4"(英制); g.φ6（内）×1软管; h .φ4（内）×1软管。
一般用金属管将质量流量控制器与气路相连接，在要求不高的情况下也可以用尼龙管
或其它较硬的弹性塑料管。双卡套接头的连接方法, 如图 6所示。注意流量计通道上的箭
头指示的方向是气流方向, 进出气方向不能接反。
Dieses Handbuch passt für folgende Modelle
6
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