HSR PDB040-G Bedienungsanleitung

LI-9496 BALZERS

DIF01deHSR (0507) PDB040-G / PDB040-W

Diffusionspumpen / Diffusion Pumps

PDB040-G

DIF040 L

PDB040-W

DIF040 W

Gebrauchsanleitung

inkl. Herstellererklärung

Operating Instructions

incl. Manufacturer's Declaration

PDB040-G / PDB040-W DIF01deHSR (0507)

Produktidentifikation

Im Verkehr mit HSR sind die Angaben des

Typenschildes erforderlich. Tragen Sie deshalb

diese Angaben ein:

Product Identification

In all communications with HSR, please specify

the information on the product nameplate. For

convenient reference copy that information into

the space provided below.

Typ:

No:

F-No:

V Hz kW

Gültigkeit

Dieses Dokument ist gültig für die Produkte mit

den Artikelnummern:

260-002 PDB040-G 230 VAC

260-003 PDB040-G 115 VAC

260-012 PDB040-W 230 VAC

260-013 PDB040-W 115 VAC

BPD11013 DIF040 L 230 VAC

BPD11014 DIF040 L 115 VAC

BPD10500 DIF040 W 230 VAC

BPD10501 DIF040 W 115 VAC

Sie finden die Artikelnummer auf dem

Typenschild.

Technische Änderungen ohne vorherige Anzeige

sind vorbehalten.

Bestimmungsgemässer Gebrauch

Diffusionspumpen dienen dem Erzeugen von

Hochvakuum.

Validity

This document applies to products with part

numbers:

260-002 PDB040-G 230 VAC

260-003 PDB040-G 115 VAC

260-012 PDB040-W 230 VAC

260-013 PDB040-W 115 VAC

BPD11013 DIF040 L 230 VAC

BPD11014 DIF040 L 115 VAC

BPD10500 DIF040 W 230 VAC

BPD10501 DIF040 W 115 VAC

The part number can be taken from the product

nameplate.

We reserve the right to make technical changes

without prior notice.

Intended Use

Diffusion pumps are used for generating high

vacuum.

DIF01deHSR (0507) PDB040-G / PDB040-W

Inhalt

Produktidentifikation 2

Gültigkeit 2

Bestimmungsgemässer Gebrauch 2

1 Beschreibung 4

1.1 Übersicht 4

1.2 Funktion 5

2 Sicherheit 7

2.1 Verwendete Symbole 7

2.2 Grundlegende Sicherheitsvermerke 7

2.3 Verantwortung und Gewährleistung 8

3 Technische Daten 9

4 Einbau 12

4.1 Betriebsmittel einfüllen 12

4.2 Vakuumanschluss erstellen 13

4.3 Kühlwasseranschluss erstellen 13

4.4 Elektrischen Anschluss erstellen 14

5. Betrieb 15

5.1 Erste Inbetriebnahme 15

5.2 Diffusionspumpe einschalten 16

5.3 Diffusionspumpe ausschalten 16

5.4 Stillstand 17

6 Ausbau 18

7 Störungsbehebung 19

7.1 Temperaturschutzschalter zurücksetzen 20

PDB040-W / DIF040 W

7.2 PDB040-G / DIF040 L 20

8 Instandhaltung / Instandsetzung 21

8.1 Betriebsmittelstand kontrollieren 22

8.2 Diffusionspumpe reinigen 23

8.3 Heizplatte ersetzen 25

9 Verbrauchsmaterial 27

9.1 Betriebsmittel 27

10 Ersatzteile 28

10.1 PDB040-W / DIF040 W 28

10.2 PDB040-G / DIF040 L 30

11 Pumpe zurücksenden 32

12 Pumpe entsorgen 32

Kontaminationserklärung 33

Herstellererklärung 35

Contents

Product Identification 2

Validity 2

Intended Use 2

1 Description 4

1.1 Overview 4

1.2 Functional Principle 5

2 Safety 7

2.1 Symbols Used 7

2.2 Safety Information 7

2.3 Liability and Warranty 8

3 Technical Data 10

4 Installation 12

4.1 Filling the Pump Fluid 12

4.2 Establishing the Vacuum Connection 13

4.3 Establishing Cooling Water Connection 13

4.4 Establishing the Power Connection 14

5 Operation 15

5.1 Initial Start Up 15

5.2 Switching the diffusion pump on 16

5.3 Switching the diffusion pump off 16

5.4 Shutdown 17

6 Desinstallation 18

7 Troubleshooting 19

7.1 Resetting the Thermostatic Cout-OUT 20

PDB040-W / DIF040 W

7.2 PDB040-G / DIF040 L 20

8 Maintenance / Repair 21

8.1 Checking the Pump Fluid Level 22

8.2 Cleaning the Diffusion Pump 23

8.3 Replacing the Heating Plate 25

9 Consumables 27

9.1 Pump Fluid 27

10 Spare Parts 28

10.1 PDB040-W / DIF040 W 28

10.2 PDB040-G / DIF040 L 30

11 Returning the Pump 32

12 Disposal 32

Declaration of Contamination 34

Declaration of Conformity 35

PDB040-G / PDB040-W DIF01deHSR (0507)

1 BESCHREIBUNG

1.1 Übersicht

PDG040-G / DIF040L

Die Diffusionspumpe PDB040-G ist eine

luftgekühlte Hochvakuumpumpe mit integriertem

Baffle und dreistufigem Düsensystem.

1 DESCRIPTION

1.1 Overview

PDG040-G / DIF040L

The PDB040-G is an air cooled high vacuum

pump with integrated baffle and three-stage jet

system.

Gehäuse

Housing Cold Cap Baffle

Kühlgebläse

Fan

Düsensystem

Jet System

Vorvakuumbaffle

Fore Vacuum Baffle

Heizung

Heater

PDG040-W / DIF040W

Die Diffusionspumpe PDB040-W ist eine

wassergekühlte Hochvakuumpumpe mit

integriertem Baffle und dreistufigem

Düsensystem.

PDG040-W / DIF040W

The PDB040-W is a water cooled high vacuum

pump with integrated baffle and three-stage jet

system.

Gehäuse

Housing

Düsensystem

Jet System

Vorvakuumbaffle

Fore Vacuum Baffle

Heizung

Heater

Cold Cap Baffle

Thermoschutzschalter

Thermostatic Cout-Out

Elektro-Anschluss

Power Connection

Thermoschutzschalter

Der Thermoschutzschalter verhindert das

Überhitzen der Diffusionspumpe wenn das

Kühlwasser fehlt

Thermostatic Cout-Out

The thermostatic cut-out prevents overheating of

the diffusion pump if the cooling water is missing

DIF01deHSR (0507) PDB040-G / PDB040-W

1.2 Funktion

Die Heizung erhitzt das im Gehäuse befindliche

Betriebsmittel bis zur Verdampfung. Der

Betriebsmitteldampf wird durch die Düsen auf

Überschallgeschwindigkeit beschleunigt und in

einem bestimmten Neigungswinkel auf das

gekühlte Pumpengehäuse gelenkt. Dort

kondensiert das Betriebsmittel und fliesst als

dünner Ölfilm in das Siedegefäss zurück.

1.2 Functional Principle

The heater causes the pump fluid in the housing

to evaporate. The pump fluid vapor is

accelerated to ultrasonic speed by the jet system

and directed to the cooling housing wall at a

specific angle. The pump fluid condenses at the

cooled housing wall and flows back to the

evaporating chamber as a thin film.

Heizung

Heater

Gehäuse

Housing

Betriebsmittel

Pump fluid

Betriebsmittel

Pump fluid

Betriebsmitteldampf

Pump fluid vapor

Cold Cap-Baffle

Purifikationszone

Purification zone

Gas Moleküle

Gas molekules

Vorvakuumbaffle

Fore vacuum baffle

Der Vorvakuumdruck gewährleistet das

Ausbreiten des Betriebsmitteldampfstrahles in

der Diffusionspumpe.

Gasmoleküle aus dem Bereich des

Hochvakuumanschlusses, die in den

Betriebsmitteldampfstrahl gelangen, erhalten

einen Impuls in Richtung des Dampfstrahles,

wodurch eine Pumpwirkung entsteht.

The fore vacuum pressure ensures that the pump

fluid vapor stream spreads within the diffusion

pump.

Gas molecules from the high vacuum flange area

which enter the pump fluid stream, gets an

impulse in the direction of the vapor stream,

which results in a pump effect.

PDB040-G / PDB040-W DIF01deHSR (0507)

Dabei können Gasmoleküle in das Betriebsmittel

hineindiffundieren. Das Betriebsmittel durchläuft

auf dem Rücktransport in den Siederaum eine

Zone erhöhter Temperatur, die Purifikationszone.

In der Purifikationszone werden leichte

Verunreinigungen und Gasmoleküle vom

Betriebsmittel getrennt und an die

Vorvakuumpumpe abgegeben.

Das in die Pumpe eingebaute Cold Cap-Baffle

reduziert die Betriebsmittelrückströmung. Ein im

Vorvakuumstutzen eingebautes Baffle reduziert

bei hohem Gasdurchsatz den

Betriebsmittelverbrauch beträchtlich.

In the process, gas molecules can diffuse into the

pump fluid. When flowing back to evaporation

chamber, the pump fluid passes through a zone

of elevated temperature, the purification zone, so

that light contamination and gas molecules are

separated from the pump fluid and conducted to

the roughing pump.

The integrated cold cap baffle reduces the pump

fluid backstreaming. The baffle in the fore

vacuum port considerably reduces the pump fluid

consumption at high gas throughput.

DIF01deHSR (0507) PDB040-G / PDB040-W

2 SICHERHEIT

2.1 Verwendete Symbole

Fachpersonal:

Diese Arbeiten dürfen nur durch

Personen ausgeführt werden, die eine

geeignete fachtechnische Ausbildung

besitzen und/oder über die nötige

Erfahrung verfügen.

Gefahr:

Angaben bzw. Ge- und Verbote zur

Verhütung von Personenschäden

jeglicher Art oder umfangreichen

Sachschäden.

Achtung:

Besondere Angaben bzw. Ge- und

Verbote zur Schadenverhütung.

Hinweis:

Besondere Angaben zur Verwendung.

Verschmutzungsempfindlicher

Bereich und Hautschutz

Saubere, fusselfreie Handschuhe

tragen und sauberes Werkzeug

benutzen.

2.2 Grundlegende

Sicherheitsvermerke

• Beachten Sie beim Umgang mit den

verwendeten Prozessmedien die

einschlägigen Vorschriften und halten Sie die

Schutzmassnahmen ein.

• Berücksichtigen Sie mögliche Reaktionen

zwischen Werkstoffen und Prozessmedien.

• Berücksichtigen Sie mögliche Reaktionen der

Prozessmedien infolge Eigenerwärmung des

Produkts.

• Alle Arbeiten sind nur unter Beachtung der

einschlägigen Vorschriften und Einhaltung der

Schutzmassnahmen zulässig. Beachten Sie

zudem die in diesem Dokument angegebenen

Sicherheitsvermerke.

2 SAFETY

2.1 Symbols Used

Specialists:

This works may only be carried out by

persons who have suitable technical

training and/or the necessary

experience

Danger:

Information on preventing any kind of

personal injury or extensive equipment

damage.

Caution:

Special information on damage

prevention.

Note:

Special information on use.

Dirt sensitive area and skin

protection

Always wear clean, lint-free gloves and

use clean tools when working in/on this

area/product.

2.2 General Safety Instructions

• Adhere to the applicable regulations and take

the necessary precautions for the process

media used.

• Consider possible reactions between the

materials and the process media.

• Consider possible reactions of the process

media due to the heat generated by the

product.

• Adhere to the applicable regulations and take

the necessary precautions for all work you are

going to do and consider the safety

information in this document.

PDB040-G / PDB040-W DIF01deHSR (0507)

• Informieren Sie sich vor Aufnahme der

Arbeiten über eine eventuelle Kontamination.

Beachten Sie beim Umgang mit

kontaminierten Teilen die einschlägigen

Vorschriften und halten Sie die

Schutzmassnahmen ein.

Geben Sie die Sicherheitsvermerke an alle

anderen Benutzer weiter.

2.3 Verantwortung und

Gewährleistung

Die Verantwortung im Zusammenhang mit den

verwendeten Prozessmedien liegt beim

Betreiber.

HSR übernimmt keine Verantwortung und

Gewährleistung, falls der Betreiber oder

Drittpersonen

• dieses Dokument missachten.

• das Produkt nicht bestimmungsgemäss

einsetzen.

• am Produkt Eingriffe jeglicher Art (Umbauten,

Änderungen, usw.) vornehmen.

• das Produkt mit Zubehör betreiben, welches

in den zugehörigen Produktdokumentationen

nicht aufgeführt ist.

• Before beginning to work, find out whether

any vacuum components are contaminated.

Adhere to the relevant regulations and take

the necessary precautions when handling

contaminated parts.

Communicate the safety information to all other

users.

2.3 Liability and Warranty

The end-user assumes the responsibility in

conjunction with the process media used.

HSR assumes no liability and the warranty

becomes null and void if the end-user or third

parties

• disregard the information in this document.

• use the product in a non-conforming manner.

• make any kind of interventions (modifications,

alterations etc.) on the product.

• use the product with accessories not listed in.

DIF01deHSR (0507) PDB040-G / PDB040-W

3 TECHNISCHE DATEN

Allgemeine technische Daten

PDB040-G / DIF040 L PDB040-W / DIF040 W

Hochvakuumanschluss DN 40 ISO-KF

Vorvakuumanschluss DN 10 ISO-KF

Kühlung Luft Wasser

Saugvermögen für Luft bei

10-4 mbar1)

• ohne Baffle 38 l/s 40 l/s

• mit Baffle 22 l/s 22 l/s

Übertemperaturschutzschalter -- Ja

Enddruck mit

• Mineralöl 66A < 5 x 10 –7 mbar

• Siliconöl DC 704 < 5 x 10 –7 mbar

• Siliconöl AN 175 < 1 x 10 –7 mbar

Vorvakuumbeständigkeit bei

• Enddruck 0,32 mbar

• Max. Saugleistung 0,29 mbar

Betriebsmittelfüllung

• minimal 10 cm3

• optimal 13 cm3

• maximal 15 cm3

Betriebsmittelverbrauch < 1 x 10-4 g/mbar x l

Elektrischer Anschluss

• Nennspannung 230 VAC ±5% 230 VAC ±5%

• oder 115 VAC ±5% 115 VAC ±5%

• Frequenz 50…60 Hz 50…60 Hz

Heizleistung 200 W2) 170 W

Anheizzeit 10 min

Abkühlzeit 12 min

Betriebstemperatur 220 °C

Kühlwasserverbrauch bei 18°C

Wassertemperatur --

15 l/h

Kühlwasseranschluss aussen Ø 6 mm

Werkstoffe

• Gehäuse Edelstahl

• Düsensystem Aluminium

Gewicht 3,0 kg 1,5 kg

1) gemessen mit Mineralöl 66 A gemäss Pneurop oder DIN 28427

2) inklusive Leistung des Kühlgebläses

PDB040-G / PDB040-W DIF01deHSR (0507)

3 TECHNICAL DATA

General technical data

PDB040-G / DIF040 L PDB040-W / DIF040 W

High vacuum connection DN 40 ISO-KF

Fore vacuum connection DN 10 ISO-KF

Cooling Luft Wasser

Pumping speed for air at

10-4 mbar1)

• Without baffle 38 l/s 40 l/s

• With baffle 22 l/s 22 l/s

Thermostatic cut-out -- Ja

Final pressure with

• Mineral oil 66A < 5 x 10 –7 mbar

• Silicone oil DC 704 < 5 x 10 –7 mbar

• Silicone oil AN 175 < 1 x 10 –7 mbar

Fore vacuum stability at

• Final pressure 0,32 mbar

• Max. throughput 0,29 mbar

Pump fluid filling level

• Minimum 10 cm3

• Optimum 13 cm3

• Maximum 15 cm3

Pump fluid consumption < 1 x 10-4 g/mbar x l

Power connection

• Mains 230 VAC ±5% 230 VAC ±5%

• or 115 VAC ±5% 115 VAC ±5%

• Frequency 50…60 Hz 50…60 Hz

Heating power 200 W2) 170 W

Heating time 10 min

Cooling time 12 min

Operating temperature 220 °C

Cooling water consumption at

water temperature 18 °C

15 l/h

Cooling water tube outer Ø 6 mm

Materials

• Housing stainless steel

• Jet system aluminum

Wight 3,0 kg 1,5 kg

1) Measured with mineral oil 66 A according to Pneurop or DIN 28427

2) Including fan power

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