Agilent Technologies 9130037 Bedienungsanleitung

Miniature and

2 l/s VacIon Pumps

Miniature Models:

913-0037 913-0038

913-0040 913-0041

913-0049 913-0050

Magnet: 913-0042

2 l/s Models:

913-0032 913-0034

913-0035 913-0045

913-0046 913-0047

913-0052 913-5000

Magnet: 913-0011

(I) MANUALE DI ISTRUZIONI

(D) BEDIENUNGSHANDBUCH

(F) NOTICE DE MODE D’EMPLOI

(GB) INSTRUCTION MANUAL

87-400-044-01 (D)

APRIL 2006

NOTICE: This document contains references to Varian.

Please note that Varian, Inc. is now part of Agilent

Technologies. For more information, go to

www.agilent.com/chem.

Miniature pumps

2 l/s VacIon pumps

ISTRUZIONI PER L'USO

INFORMAZIONI DI SICUREZZA...................................................................................................1

INFORMAZIONI GENERALI..........................................................................................................1

INSTALLAZIONE ...........................................................................................................................1

Collegamento dell’unità di controllo.....................................................................................2

NOTE DI FUNZIONAMENTO ........................................................................................................2

Operazione di “bakeout” ......................................................................................................2

CONDIZIONI DI FUNZIONAMENTO ANOMALE ..........................................................................3

Bassa corrente.....................................................................................................................3

Alta corrente.........................................................................................................................3

BETRIEBSANLEITUNG

SICHERHEITSHINWEISE .............................................................................................................4

ALLGEMEINE HINWEISE .............................................................................................................4

INSTALLATION..............................................................................................................................4

Anschluss des Controllers ...................................................................................................5

FUNKTIONSWEISE.......................................................................................................................5

Bakeout................................................................................................................................5

BETRIEBSSTÖRUNGEN ..............................................................................................................6

Stromstärke zu niedrig.........................................................................................................6

Stromstärke zu hoch............................................................................................................6

INSTRUCTIONS D’UTILISATION

INFORMATIONS SUR LA SÉCURITÉ ..........................................................................................7

INDICATIONS GÉNÉRALES.........................................................................................................7

INSTALLATION..............................................................................................................................7

Branchement de l'unité de contrôle .....................................................................................8

NOTES DE FONCTIONNEMENT..................................................................................................8

Opération de “bakeout”........................................................................................................8

CONDITIONS DE FONCTIONNEMENT ANORMALES................................................................9

Courant faible.......................................................................................................................9

Courant élevé.......................................................................................................................9

INSTRUCTIONS FOR USE

SAFETY INFORMATION.............................................................................................................10

GENERAL INFORMATION..........................................................................................................10

INSTALLATION............................................................................................................................10

Control unit connection ......................................................................................................11

OPERATING NOTES...................................................................................................................11

Bakeout Operation.............................................................................................................11

UNUSUAL OPERATING CONDITIONS......................................................................................12

Low current ........................................................................................................................12

High current .......................................................................................................................12

ISTRUZIONI PER L'USO

INFORMAZIONI DI SICUREZZA

Questa apparecchiatura è destinata ad uso pro-

fessionale. L'utilizzatore deve leggere attentamen-

te il presente manuale di istruzioni ed ogni altra

informazione addizionale fornita dalla Varian prima

dell'utilizzo dell'apparecchiatura. La Varian si ritie-

ne sollevata da eventuali responsabilità dovute al-

l'inosservanza totale o parziale delle istruzioni, ad

uso improprio da parte di personale non addestra-

to, ad interventi non autorizzati o ad uso contrario

alle normative nazionali specifiche.

Questo manuale utilizza le seguenti convenzioni:

,PERICOLO!

I messaggi di pericolo attirano l'attenzione dell'o-

peratore su una procedura o una pratica specifica

che, se non eseguita in modo corretto, potrebbe

provocare gravi lesioni personali.

ATTENZIONE

I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di

procedure che, se non osservate, potrebbero cau-

sare danni all'apparec-chiatura.

NOTA

Le note contengono informazioni importanti estra-

polate dal testo.

INFORMAZIONI GENERALI

Queste istruzioni contengono informazioni di base

per l’installazione e l’uso delle Pompe Miniature e

2 l/s VacIon.

La seguente tabella elenca i modelli disponibili:

MODELLO P/N

Miniature

Con tubo in rame 180° 913-0037

Con tubo in rame 90° 913-0040

Con tubo in acciaio inossidabile da 3/8”

OD 180°

913-0038

Con tubo in acciaio inossidabile da 3/8”

OD 90°

913-0041

Con tubo in rame da 3/8” OD 180°,

preparata sotto vuoto

913-0049

Con tubo in rame da 3/8” OD 90°,

preparata sotto vuoto

913-0050

Magnete in Alnico 913-0042

2 l/s

Con tubo in acciaio inossidabile da 3/4”

OD 180°

913-0032

Con tubo in Kover-glass da 3/4” OD 913-0034

Con tubo in rame da 3/4” OD 180°,

preparata sotto vuoto

913-0035

Con tubo in acciaio inossidabile corto

da 3/4” OD

913-0047

Con tubo in acciaio inossidabile da 3/4”

OD 180°, preparata sotto vuoto

913-0045

MODELLO P/N

Con tubo in acciaio inossidabile da 3/4”

OD 90° a T

913-0046

Con tubo in rame OFHC da 3/4” OD 913-0052

Con flangia 1 1/3” CF 180° preparata

sotto vuoto

913-5000

Magnete in Alnico 913-0011

Il sistema di pompaggio completo comprende La

pompa VacIon, il suo magnete, ed un alimentato-

re. Queste pompe VacIon funzionano sul principio

getter nel campo da 10-3 Torr a meno di 10-9 Torr.

Per portare il sistema dalla pressione a meno di

10-3 Torr, è necessaria una pompa di pre-vuoto.

La pompa deve essere alimentata tramite una ten-

sione positiva di 3000-3500 Volt (a circuito aperto).

La corrente di alimentazione e quella di corto cir-

cuito fornita dall’alimentatore devono corrisponde-

re alla corrente assorbita dalla pompa alla sua

massima pressione di esercizio.

INSTALLAZIONE

Durante l’installazione, mantenere la pompa ed il

sistema puliti. Evitare di toccare le superfici che

saranno sotto vuoto. Quando la pompa è aperta

all’aria, far attenzione a non introdurre particelle

estranee, olio, fondente per saldatura, o qualsiasi

sostanza volatile. Pulire accuratamente il sistema

prima del collegamento della pompa. Una pulizia

del sistema del vuoto con prodotti chimici sarebbe

il metodo più completo; tuttavia non utilizzarlo

quando sono presenti cavità e fessure che impedi-

scano il risciacquo

Normalmente è sufficiente uno sgrassaggio con

acetone o metanolo ed un successivo risciacquo

con acqua.

Per ottenere la massima velocità di pompaggio

collegare la pompa al sistema con un tubo il più

corto ed il più largo possibile.

Per lavorazioni in ultra vuoto, le giunzioni devono

essere saldate con gas inerte (TIG), brasate con

idrogeno o sotto vuoto.

Le guarnizioni nel sistema devono essere di metal-

lo morbido tipo rame ricotto, alluminio o oro.

Dopo che la pompa è stata sigillata nel sistema,

ricontrollare che l’intero sistema non presenti per-

dite.

Fissare il magnete alla relativa staffa della pompa

tramite le viti in dotazione.

1 87-400-085-01(D)

ISTRUZIONI PER L'USO

Collegamento dell’unità di controllo

,PERICOLO!

Le tensioni generate dall’unità di controllo ed uti-

lizzate dalle pompe VacIon sono potenzialmente

letali. Per operare in sicurezza assicurarsi che il

collegamento di massa sia realizzato correttamen-

te.

Collegare l’unità di controllo alla pompa come se-

gue:

1. Collegare la pompa alla massa

dell’alimentatore sistemando la molletta di

massa sul passante della pompa prima di col-

legare il cavo di alta tensione. Con i cavi prov-

visti di filo di massa, collegare il filo di massa

ad una massa del sistema.

2. L’alimentatore si collega a massa attraverso il

suo cavo di alimentazione. Perciò, per assicu-

rare un circuito completamente collegato a

massa, la spina a tre poli del cavo di alimenta-

zione deve essere inserita in una presa con

collegamento di terra. Non utilizzare prese di

adattamento che non permettano la chiusura

del circuito di terra.

NOTE DI FUNZIONAMENTO

Le pompe VacIon funzionano ionizzando il gas me-

diante una scarica confinata magneticamente (cella

Penning). Una tensione di circa 3 kV viene applicata

all’anodo mentre i catodi sono mantenuti a massa.

Un campo magnetico assiale di circa 1200 gauss

impedisce che gli elettroni giungano direttamente

all’anodo. Un isolante schermato isola l’anodo dal

potenziale di terra. Nel funzionamento corretto della

pompa VacIon (con il magnete installato), la corren-

te assorbita è proporzionale alla pressione (vedere

la figura seguente).

Curva pressione-corrente

Dopo che il sistema ha raggiunto una pressione

inferiore ai 10-2 Torr, si può avviare la pompa

semplicemente accendendo l’unità di controllo.

L’avvio della pompa viene indicato dalla presenza

di un assorbimento di corrente da parte dell’unità

di controllo.

NOTA

Prima di scollegare il cavo dell’alimentatore atten-

dere sempre almeno 30 secondi dallo spegnimen-

to dell’alta tensione in modo da permettere che il

condensatore dell’alimentatore si scarichi adegua-

tamente.

Operazione di “bakeout”

Quando una pompa VacIon non raggiunge la

pressione base desiderata e non ci sono perdite, è

necessario eseguire un “bakeout” del sistema per

eliminare il vapore acqueo. Questa operazione

viene eseguita riscaldando la pompa e tutti gli e-

lementi del sistema.

1. Riscaldare il corpo pompa ed il sistema per

mezzo di un forno o elementi riscaldanti ad una

temperatura tra 150 e 250 °C (250 °C è la

massima temperatura sopportata da molti cavi

di alta tensione). Questa temperatura è abba-

stanza elevata in modo da “degassare” le su-

perfici della pompa dal vapore acqueo senza

danneggiare il magnete ed il connettore

dell’alta tensione. Occorre fare attenzione che

gli altri componenti del sistema sopportino la

temperatura di riscaldamento. Il riscaldamento

deve essere il più possibile uniforme su tutte le

superfici per evitare che il vapore si ricondensi

sulle parti più fredde impedendo così il rag-

giungimento di valori elevati di vuoto.

2. Lasciare accesa l’unità di controllo e controllare

che la pressione non superi il valore di 5x10-5

Torr (mbar). Nel caso in cui si superi il suddetto

valore, occorre spegnere il riscaldatore e riac-

cenderlo quando si è ripristinata la bassa pres-

sione. Per controllare i riscaldatori ed i valori di

pressione in modo automatico durante il riscal-

damento, occorre utilizzare un relè sensibile al-

la pressione.

3. Riscaldare la pompa VacIon per almeno 8 ore.

Periodi più lunghi di riscaldamento sono ne-

cessari quando la pompa deve essere usata

con carichi di gas pesanti, o quando si deside-

rano valori di vuoto ultra alti (10-9 Torr [mbar]) o

inferiori.

4. A mano a mano che la pompa ed il sistema ri-

tornano alla temperatura ambiente, si deve os-

servare un abbassamento della pressione.

2 87-400-085-01(D)

ISTRUZIONI PER L'USO

5. Tra le varie applicazioni delle pompe ioniche

c’è anche la possibilità del loro impiego per

processare sotto vuoto altri componenti. Poichè

il passante di alta tensione può sopportare un

numero limitato di cicli di riscaldamento (fino a

400°C), si raccomanda di limitare tali cicli al

minimo possibile, per aumentare la durata di vi-

ta della pompa stessa.

CONDIZIONI DI FUNZIONAMENTO

ANOMALE

Bassa corrente

Se il valore di corrente letto è inferiore a quello

normale per quel dato valore di pressione (vedere

il diagramma precedente), la scarica si potrebbe

essere fermata.

Per verificare se la scarica si è fermata, rimuovere

il magnete ed osservare la corrente residua. Se la

corrente non cambia con e senza il magnete, non

è in corso alcuna scarica nella pompa.

a) Per riavviare la scarica, colpire il corpo pompa

con un attrezzo di plastica morbida, o riscal-

darlo localmente con un piccolo saldatore. In

questo modo si libera del gas dalla superficie

all’interno della pompa e la scarica dovrebbe

riprendere. NON COLPIRE MAI la pompa con

un attrezzo metallico.

b) Se il campo magnetico scende sotto il suo va-

lore di targa, la scarica della pompa e la velo-

cità si ridurranno e la scarica potrebbe

spegnersi ad una pressione inferiore a 1x10-7

Torr.

Alta corrente

Se il valore di corrente letto è superiore a quello

normale per quel dato valore di pressione (vedere

il diagramma precedente), controllare quanto se-

gue:

a) Che il cavo dell’alta tensione non sia in corto

circuito. Riparare o sostituire.

b) Che non ci sia una dispersione all’interno

dell’unità di controllo. Riparare secondo quanto

indicato sul relativo manuale.

c) Che non ci sia un corto circuito sugli isolatori

di supporto dell’anodo causato da frammenti di

film di Titanio. Colpire la pompa come descrit-

to al passo a) del paragrafo precedente po-

trebbe porre rimedio a questa situazione.

d) Che non ci sia una emissione di corrente da “pun-

te” che si siano formate sui catodi. Applicare alla

pompa una tensione tra 10 e 14 kVac con una

corrente tra 20 e 30 mA per 5 - 20 secondi per

bruciare le “punte”.

e) Che non ci siano rivestimenti di film metallici

conduttori sugli isolatori a causa di un funzio-

namento sopra i 10-2 Torr per elevati periodi di

tempo. Poiché non è possibile smontare la

pompa, questa condizione è causa di una limi-

tazione del tempo di vita della pompa. Evitare di

usare la pompa ad alte pressioni per lunghi pe-

riodi.

SMALTIMENTO

Significato del logo "WEEE" presente sulle eti-

chette

Il simbolo qui sotto riportato applicato in ottempe-

ranza alla direttiva CE denominata "WEEE".

Questo simbolo (valido solo per i paesi della

Comunità Europea) indica che il prodotto sul qua-

le è applicato, NON deve essere smaltito insieme

ai comuni rifiuti domestici o industriali, ma deve

essere avviato ad un sistema di raccolta differen-

ziata.

Si invita pertanto l'utente finale a contattare il forni-

tore del dispositivo, sia esso la casa madre o un

rivenditore, per avviare il processo di raccolta e

smaltimento, dopo opportuna verifica dei termini e

condizioni contrattuali di vendita.

3 87-400-085-01(D)

BETRIEBSANLEITUNG

SICHERHEITSHINWEISE

Dieses Gerät ist für den professionellen Gebrauch

bestimmt. Vor dem Gebrauch soll der Benutzer die-

ses Handbuch sowie alle weiteren von Varian mit-

gelieferten Zusatzinformationen genau lesen. Bei

vollständiger bzw. teilweiser Nichtbeachtung der

enthaltenen Hinweise, unsachgemäßem Gebrauch

durch ungeschultes Personal, nicht autorisierten

Eingriffen und Benutzung unter Missachtung der

einschlägigen nationalen Bestimmungen übernimmt

Firma Varian keinerlei Haftung.

In diesem Handbuch werden bestimmte Textstel-

len wie folgt hervorgehoben:

,GEFAHR!

Die Gefahrenhinweise richten die Aufmerksamkeit

auf eine spezielle Prozedur oder Praktik, die bei

unkorrekter Ausführung schwere Personenschä-

den zur Folge haben könnte.

ACHTUNG!

Die Warnhinweise vor bestimmten Prozeduren

machen darauf aufmerksam, dass bei Nichteinhal-

tung Schäden am Gerät entstehen können.

ANMERKUNG

Die Anmerkungen enthalten wichtige Informatio-

nen, die aus dem Text hervorgehoben werden.

ALLGEMEINE HINWEISE

Diese Anweisungen enthalten Grundinformationen

zur Installation und zum Gebrauch von Vaclon

Pumpen Mod. Miniature und 2 l/s.

In der Tabelle werden die erhältlichen Modelle

aufgeführt:

MODELL P/N

Miniature

Mit Rohr in Kupfer 180° 913-0037

Mit Rohr in Kupfer 90° 913-0040

Mit Rohr in Edelstahl 3/8” OD 180° 913-0038

Mit Rohr in Edelstahl 3/8” OD 90° 913-0041

Mit Rohr in Kupfer 3/8” OD 180°, mit Vor-

vakuum

913-0049

Mit Rohr in Kupfer 3/8” OD 90, mit Vorva-

kuum

913-0050

Magnet in Alnico 913-0042

2 l/s

Mit Rohr in Edelstahl 3/4” OD 180° 913-0032

Mit Rohr in Kover-glass 3/4" OD 913-0034

Mit Rohr in Kupfer 3/4” OD 180°, mit Vor-

vakuum

913-0035

Mit Rohr in Edelstahl 3/4” OD 180°, mit

Vorvakuum

913-0045

Mit Rohr in Edelstahl 3/4” OD 90° T-

Anschluss

913-0046

MODELL P/N

Mit Kurzer Rohr in Edelstahl 3/4” OD 913-0047

Mit Rohr in OFHC Kupfer 3/4” OD 913-0052

Mit Flansch 1 1/3” CF 180°, mit Vorvaku-

913-5000

Magnet in Alnico 913-0011

Das komplette Pumpsystem umfasst die Vaclon

Pumpe, deren Magneten und ein Netzgerät. Diese

Vaclon Pumpen arbeiten nach dem Getterprinzip

im Bereich von 10-3 Torr bis unter 10-9 Torr. Um

das System auf unter 10-3 Torr zu bringen, ist eine

Vorvakuumpumpe erforderlich.

Die Pumpe ist mit einer Plusspannung von 3.000-

3.500 Volt (im offenen Schaltkreis) zu versorgen.

Die Versorgungsspannung und die vom Netzgerät

gelieferte Kurzschlussspannung sollen der Strom-

aufnahme der Pumpe bei ihrem maximalen Ar-

beitsdruck entsprechen.

INSTALLATION

Bei der Installation sind die Pumpe und das Sys-

tem sauber zu halten. Die Berührung von Oberflä-

chen, die unter Vakuum sein werden, ist zu

vermeiden. Bei geöffnetem Zustand der Pumpe ist

darauf zu achten, dass keine Schmutzpartikel, Öl,

Lötflussmittel oder flüchtige Substanzen eindrin-

gen. Vor Anschluss der Pumpe ist das System

gründlich zu reinigen. Eine Reinigung des Vaku-

umsystems mit chemischen Produkten wäre hier-

bei die beste Methode; sie sollte allerdings nicht

bei Vorhandensein von Hohlräumen und Spalten

angewendet werden, die das Ausspülen verhin-

dern.

In der Regel ist das Entfetten mit Aceton oder Me-

thanol und das anschließende Spülen mit Wasser

ausreichend.

Um eine maximale Pumpgeschwindigkeit zu erzie-

len, ist die Pumpe über eine möglichst kurze und

breite Leitung an das System anzuschließen.

Für den Höchstvakuumbetrieb sollen die Verbin-

dungen mit Inertgas geschweißt (WIG) und was-

serstoff- oder vakuumgelötet sein.

Die Dichtungen im System sollen aus Weichmetall

wie geglühtes Kupfer, Aluminium oder Gold sein.

Nachdem die Pumpe im System versiegelt wurde,

ist das gesamte System auf Leckstellen zu über-

prüfen.

Den Magneten an den hierfür vorgesehenen Bügel

der Pumpe mit den mitgelieferten Schrauben be-

festigen.

4 87-400-085-01(D)

BETRIEBSANLEITUNG

Anschluss des Controllers

,GEFAHR!

Die Spannungen, die vom Controller erzeugt und

von Vaclon Pumpen genutzt werden, sind potenziell

tödlich. Um die Sicherheitsbedingungen beim Arbei-

ten zu gewährleisten, ist sicherzustellen, dass der

Masseanschluss vorschriftsgemäß ausgeführt ist.

Den Controller wie folgt an die Pumpe anschlie-

ßen:

1. Die Pumpe an den Masseanschluss des

Netzgerätes anschließen, wobei die Massean-

schlussfeder am Hochspannungsverbinder der

Pumpe anzubringen ist, bevor das Hochspan-

nungskabel angeschlossen wird. Bei den Ka-

beln, die mit einem Masseleiter versehen sind,

ist der Masseleiter an einen Masseanschluss-

punkt des Systems anzuschließen.

2. Das Netzgerät wird über sein Versorgungska-

bel an die Masse angeschlossen. Damit der

Stromkreis vollständig an die Masse ange-

schlossen ist, muss der dreipolige Stecker des

Versorgungskabels an eine geerdete Steckdo-

se angeschlossen sein. Es dürfen keine Adap-

tersteckdosen verwendet werden, die keine

Schließung des Erdungskreises zulassen.

FUNKTIONSWEISE

Vaclon Pumpen arbeiten durch Gasionisierung in-

folge einer magnetisch abgegrenzten Entladung

(Penning-Zelle). An die Anode wird eine Spannung

von ungefähr 3 kV angelegt, während die Katoden

an die Masse angeschlossen sind. Ein axiales

Magnetfeld von ungefähr 1.200 Gauss verhindert,

dass die Elektronen direkt zur Anode gelangen. Ein

abgeschirmter Isolator isoliert die Anode vom Er-

dungspotenzial. Bei ordnungsgemäßem Betrieb der

Vaclon Pumpe (mit dem installierten Magnet) ist die

Stromaufnahme proportional zum Druck (siehe

nachstehende Abbildung).

Druck-Stromstärke-Diagramm

Nachdem das System einen Druck unter 10-2 Torr

erreicht hat, ist es möglich, die Pumpe lediglich

durch Einschalten des Controllers zu starten. Der

Pumpenstart ist anhand der Stromaufnahme durch

den Controller erkenntlich.

ANMERKUNG

Bevor das Kabel des Netzgerätes abgetrennt wird,

sind stets mindestens 30 s nach Abschaltung der

Hochspannung abzuwarten, damit sich der Kon-

densator des Netzgerätes entsprechend entladen

kann.

Bakeout

Wenn eine VacIon Pumpe den gewünschten Ba-

sisdruck nicht erreicht und keine Druckverluste

vorhanden sind, ist ein Bakeout des Systems aus-

zuführen, um den Wasserdampf zu beseitigen.

Dieser Vorgang erfolgt unter Erwärmung der

Pumpe und aller Systemelemente.

1. Den Pumpenkorpus und das System mit ei-

nem Ofen oder Heizelementen auf eine Tem-

peratur zwischen 150 und 250°C erhitzen

(250°C ist die maximal zulässige Temperatur

vieler Hochspannungskabel). Diese Tempera-

tur ist ausreichend, um die Oberflächen der

Pumpe von Wasserdampf zu “entgasen”, ohne

den Magneten oder den Hochspannungsverb-

inder zu beschädigen. Es ist darauf zu achten,

dass die anderen Systemkomponenten der

Erwärmungstemperatur standhalten. Die Er-

wärmung soll möglichst gleichmäßig auf allen

Oberflächen erfolgen, damit der Dampf nicht

an den kälteren Teilen kondensiert und das Er-

reichen hoher Vakuumwerte verhindert.

2. Den Controller eingeschaltet lassen und kon-

trollieren, dass der Druck nicht 5x10-5 Torr

(mbar) übersteigt. Falls dieser Wert überschrit-

ten wird, ist das Heizgerät auszuschalten und

erneut einzuschalten, wenn der Unterdruckbe-

reich wieder hergestellt ist. Zur automatischen

Kontrolle der Heizgeräte und Druckwerte wäh-

rend der Erwärmung ist ein druckempfindli-

ches Relais zu benutzen.

3. Die Vaclon Pumpe über einen Zeitraum von

mindestens 8 Stunden erwärmen. Längere

Erwärmzeiten sind erforderlich, wenn die

Pumpe mit hohen Gaslasten benutzt werden

soll oder Höchstvakuumwerte (10-9 Torr

[mbar]) oder niedriger erreicht werden sollen.

4. Im Zuge der Abkühlung der Pumpe und des

Systems auf die Umgebungstemperatur muss

auch ein Druckabfall entstehen.

5 87-400-085-01(D)

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