Pfeiffer Vacuum UDV 040 Bedienungsanleitung
Betriebsanleitung inkl. Herstellererklärung
Operating manual
incl. Manufacturer’s declaration
Mode d’emploi incl. Déclaration du fabricant
BP 805 003 BN / B (9905) 1
Ganzmetall-Regelventil
All-metal regulating valve
Vanne tout métal de régulation
UDV 040
UDV 140
Montage
Bedienung
Technische Daten
Wartung
Installation
Operation
Technical data
Maintenance
Montage
Fonctionnement
Caractéristiques techniques
Entretien
Dosierung
Dosing
Dosage
manuell
manual
manuel
geregelt
regulated
reglé
(UDV 140)
BP 805 003 BN / B (9905) UDVx40.om 2
Die Ganzmetall-Regelventile UDV040 und
UDV 140 dienen dem kontrollierten Ein-
lass von Gasen in Vakuumsysteme. Sie
zeichnen sich durch präzisen und reprodu-
zierbaren Gaseinlass aus und eignen sich
besonders für den Einsatz
• in der Gas- und Oberflächenanalytik
• in der Massenspektrometrie
• in der Kernphysik, Beschleuniger
• in der Katodenzerstäubung
(sputtering)
• in der Vakuum- und Lasertechnik
• bei der Handhabung reinster Gase
• beim Belüften von UHV-Systemen
Das UDV 040 ist für den manuellen, das
UDV 140 (in Verbindung mit einer Steue-
rung) für den geregelten Gaseinlass kon-
zipiert.
The UDV 040 and UDV140 all-metal
regulating valves are used for controlled
gas inlet into vacuum systems. They dis-
tinguish themselves through precise and
reproducible gas inlet and are especially
suited for use in
•
gas and surface analysis
•
mass spectrometry
•
nuclear physics, accelerators
•
cathode sputtering
•
vacuum and laser technology
•
handling of very pure gases
•
venting of UHV systems
The UDV 040 is conceived for manual, the
UDV 140 (in conjunction with a control
unit) for regulated gas inlet.
Les vannes tout métal de régulation
UDV 040 et UDV 140 ont été conçues
pour l'admission contrôlée de gaz dans les
systèmes à ultra-vide. Elles se distinguent
par leur dosage précis et reproductible et
conviennent en particulier aux utilisations
suivantes:
• analyse de gaz et de surfaces
• spectrométrie de masse
• physique nucléaire, accélérateurs
• pulvérisation cathodique (sputtering)
• technique du vide et technique laser
• travail avec des gaz très purs
• entrée d'air dans les systèmes à ultra-
vide
On utilise l'UDV 040 pour l'admission ma-
nuelle de gaz, l'UDV 140 (avec un appareil
de commande) pour l'admission régulée
de gaz.
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Gültigkeit
Dieses Dokument ist gültig für Produkte
mit den Artikelnummern
PF I52 031 (UDV 040)
PF I52 032 (UDV 140)
Sie finden die Artikelnummer auf dem
Typenschild.
Technische Änderungen ohne vorherige
Anzeige sind vorbehalten.
Validity
This document applies to products with
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PF I52 031
(UDV 040)
PF I52 032
(UDV 140)
The part number can be taken from the
nameplate.
We reserve the right to make technical
change without prior notice.
Validité
Ce document est valable pour les produits
avec les numéros de référence
PF I52 031 (UDV 040)
PF I52 032 (UDV 140)
Le numéro de référence figure sur la
plaque signalétique.
Nous nous réservons le droit d'apporter
des modifications techniques sans avis
préalable.
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1 Sicherheit
1.1 Grundlegende Sicher-
heitsvermerke
a) Beachten Sie beim Umgang mit den
verwendeten Prozessmedien die ein-
schlägigen Vorschriften und halten Sie
die Schutzmassnahmen ein.
Berücksichtigen Sie mögliche Reaktio-
nen zwischen Werkstoffen (→
2
22)
und Prozessmedien.
b) Bei Betriebstemperaturen über 55 °C
sind zum Bedienen Schutzhandschuhe
zu verwenden (→
2
14).
c) Alle Arbeiten sind nur unter Beachtung
der einschlägigen Vorschriften und
Einhaltung der Schutzmassnahmen
zulässig. Beachten Sie zudem die in
diesem Dokument angegebenen Si-
cherheitsmassnahmen (→
2
26, 36).
d) Zur Reparatur eingesandte Produkte
müssen frei von Schadstoffen sein
(z.B. radioaktiver, toxischer, ätzender
oder mikrobiologischer Art). Nicht ein-
deutig als "fei von Schadstoffen"
deklarierte Produkte werden kosten-
pflichtig dekontaminiert.
Geben Sie die Sicherheitsvermerke an
alle anderen Benutzer weiter.
1 Safety
1.1 General safety
instructions
a) Adhere to the applicable regulations
and take the necessary precautions
for the process media used.
Consider possible reactions between
the materials (
→
2
23) and the
process media.
b) Protective gloves are required to ope-
rate the valve at operating temperatu-
res above 55 °C (
→
2
14).
c) Adhere to the applicable regulations
and take the necessary precautions
for all work you are going to do and
consider the safety instructions in this
document (
→
2
26, 36).
d) Products returned to Pfeiffer Vacuum
for repair must be free of harmful
substances (e.g. radioactive, toxic,
caustic or microbiological). Products
that are not clearly declared as "free of
harmful substances" are
decontaminated at the expense of the
customer.
Communicate the safety instructions to all
other u
sers.
1Sécurité
1.1 Indications générales
a) Observer les prescriptions essentielles
et prendre les précautions afférentes
aux média de processus.
Considérer les réactions possibles en-
tre les matériaux du produit (→
2
24)
et les média de processus.
b) Utiliser des gants pour intervenir sur la
vanne à une température supérieure à
55 °C (→
2
14).
c) Observer les prescriptions essentielles
et prendre les précautions appropriées
concernant tous les travaux. Tenir
également comte des dispositions de
précaution figurant dans ce document
(→
2
26, 36).
d) Les produits qui nous sont envoyés en
vue de réparation doivent être
exempts de substances nocives (soit
radioactives, toxiques, corrosives ou
microbiologiques). En absence d'une
déclaration univoque confirmant que le
produit est "exempt de substances
nocives", le produit est décontaminé
aux frais du client.
Communiquer les indications concernant
la sécuritée aux autres utilisateurs s.v.p.
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1.2 Zeichenerklärung
GEFAHR:
Angaben bzw. Ge- und Verbote
zur Verhütung von Personen- oder
umfangreichen Sachschäden.
ACHTUNG:
Besondere Angaben bzw. Ge- und
Verbote zur Schadenverhütung.
HINWEIS:
Besondere Angaben zur
wirtschaftlichen Verwendung.
040
gültig für UDV 040
140
gültig für UDV 140
1.2 Explanation of symbols
DANGER:
Information on preventing personal
injury or extensive equipment da-
mage.
CAUTION:
Special information on damage
prevention.
NOTE:
Special information on cost-effec-
tive use.
040
valid for UDV 040
140
valid for UDV 140
1.2 Explication des signes
DANGER:
Indications, directives et interdic-
tions concernant la prévention de
dommages corporels ou d'impor-
tants dégâts matériels.
ATTENTION:
Indications particulières, directives
et interdictions concernant la pré-
vention de dommages.
NOTE:
Indications particulières concer-
nant l'utilisation économique.
040
valable pour UDV 040
140
valable pour UDV 140
1.3 Allgemeine Bestimmun-
gen
Pfeiffer Vacuum übernimmt keine
Verantwortung und Gewährleistung, falls
am Produkt Eingriffe jeglicher Art
vorgenommen werden.
Die Verantwortung in Zusammenhang mit
den verwendeten Prozessmedien liegt
beim Betreiber.
1.3 General stipulations
Pfeiffer Vacuum assumes no liability and
the warranty becomes null and void if any
kind of changes are made to the product.
The end-user carries the responsibility in
conjunction with the process media used.
1.3 Prescriptions générales
Pfeiffer Vacuum ne supporte aucune
responsabilité ni garantie dans le cas où le
détenteur ou des tiers apportend des
changements au produit.
Le détenteur supporte la responsabilité
relative aux média de processus utilisés.
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2 Montage
HINWEIS:
Schmutz und Beschädigungen be-
einträchtigen die Funktion von
Vakuumkomponenten. Beachten
Sie beim Umgang mit Vakuum-
komponenten die Regeln in bezug
auf Sauberkeit und Schutz vor
Beschädigung.
2 Installation
NOTE:
Dirt and damages impair the func-
tion of the vacuum component.
When handling vacuum compo-
nents, take appropriate measures
to ensure cleanliness and prevent
damages.
2 Installation
NOTE:
Tout encrassement ou endomma-
gement porte atteinte au fonction-
nement des composants à vide.
En utilisant des composants à
vide, prendre les mesures
appropriées pour assurer la
propreté et la prévention des
endommagements.
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Anschlussmöglichkeiten
Connection possibilities
Possibilités de raccordement
Fig. 1
Steuerung
Control unit
Appareil de commande Pmax. = 1.5 mbar
UDV 040 / 140
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2.1 Kapillare für örtlich definierten Gaseinlass
Capillary for precisely routing the gas flow
Tube capillaire pour réaliser l'admission dirigée de gaz
040
140
Fig. 2
M5
M5
ø2 × 0.5
1000
BP 805 003 BN / B (9905) UDVx40.om 9
2.2 Montage an das Vakuumsystem
Installation in the vacuum system
Montage au système à vide
85.5
98.2
DN 40 CF-F
nicht verstellen
do not adjust
ne pas régler
Fig. 3a
Achten Sie auf gute Zugänglichkeit
Ensure good accessibility
Faire attention à l'accessibilité
Fig. 3b
Fig. 3c
Gasflussrichtung
Direction of gas flow
Direction du flux de gaz
Fig. 3d ∆p = max. 30 bar
Weitere Technische Daten →
2
22
Further technical
data →
2
23
Caractéristiques techniques supplémentaires→
2
24
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2.3 Anschluss des Gaseinlasssystems
Connecting the gas inlet system
Raccorder l’admission de gaz
040
140
Achten Sie bei der Herstellung der VCR-Verbindung insbesondere
auf folgende Punkte:
Pay special attention to the following points when establishing the
VCR connection:
En assurant la connexion VCR porter une attention particulière aux
points suivants:
• Komponenten fluchtig ausrichten
Align components
Maintenir les éléments dans un bon
alignement
• Fingerfest anziehen
Use your fingers to tighten
Ne pas serrer trop fort
• 1/8Umdrehung
1
/
8
turn
1/8tour
Festhalten
Hold
Tenir ferme
HINWEIS: Beschädigte oder verschmutzte Dichtlippen beeinträchtigen die Dichtheit.
NOTE: Damaged or contaminated sealing lips reduce the tightness.
NOTE: Des surfaces d'étanchéité endommagées ou contaminées reduisent l'étanchéité.
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1
Inhaltsverzeichnis
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